ISO 18114:2003
表面化學分析.次級離子質譜法.測定離子注入標樣中的相對靈敏度系數
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
- 標準號
- ISO 18114:2003
- 發布
- 2003年
- 總頁數
- 12頁
- 中文版
- GB/T 25186-2010 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 18114:2021
- 當前最新
- ISO 18114:2021
- 引用標準
- ISO 18115
- 適用范圍
- 本國際標準規定了從離子注入參考材料中確定二次離子質譜（SIMS）相對靈敏度因子（RSF）的方法。 該方法適用于基體化學成分均勻、注入物質峰值濃度不超過1個原子百分比的樣品。