GB/T 40129-2021
表面化學分析 二次離子質譜 飛行時間二次離子質譜儀質量標校準
Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
GBT40129-2021, GB40129-2021
- 標準號
- GB/T 40129-2021
- 別名
- GBT40129-2021, GB40129-2021
- 發布
- 2021年
- 總頁數
- 20頁
- 采用標準
- ISO 13084:2018 IDT
- 發布單位
- 國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會
- 當前最新
- GB/T 40129-2021
- 適用范圍
- 本文件描述了一種用于優化一般分析目的的飛行時間二次離子質譜(SIMS)儀器的質量校準準確度的方法。 本文件僅適用于飛行時間儀器,但并不限于任何特定的儀器設計。 本文件提供了對一些儀器參數優化的指導,這些參數能使用此程序進行優化,還提供了適用于校準質量標以獲得最佳質量準確度的一般峰的類型。
| 術語 | 描述 |
|---|---|
| 質量準確度 Mass Accuracy | 測量得到的離子質量與真實質量之間的偏差程度。 |
| 二次離子質譜(SIMS) Secondary Ion Mass Spectrometry | 一種通過從樣品表面釋放二次離子進行分析的深度剖析技術，常用于材料科學和表面分析領域。 |
GB/T 40129-2021 中提到的儀器設備
| 飛行時間二次離子質譜儀 ToF-SIMS | 基于飛行時間原理設計的高分辨率質譜儀，用于精確測量離子質量和質量準確度。 |
| 旋涂儀 | 用于制備均勻聚碳酸酯薄膜的設備，提供高質量的樣品表面。 |