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本文件描述了一種用于優化一般分析目的的飛行時間二次離子質譜(SIMS)儀器的質量校準準確度的方法。 本文件僅適用于飛行時間儀器,但并不限于任何特定的儀器設計。 本文件提供了對一些儀器參數優化的指導,這些參數能使用此程序進行優化,還提供了適用于校準質量標以獲得最佳質量準確度的一般峰的類型。
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