OS GSO ISO 23830:2013
表面化學分析 二次離子質譜 靜態二次離子質譜中相對強度標度的重復性和穩定性

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Repeatability and constancy of the relative-intensity scale in static secondary-ion mass spectrometry

標準號

OS GSO ISO 23830:2013

發布

2013年

發布單位

阿曼規格和計量局

當前最新

OS GSO ISO 23830:2013

 

 

介紹

該標準介紹了在靜態二次離子質譜（SIMS）分析過程中，關于相對強度標度的重復性和穩定性的評估方法。它詳細規定了實驗條件、數據采集和處理流程以及結果解釋的具體步驟。此文件適用于科研機構、實驗室及制造業中需要進行高精度表面化學成分分析的應用場景。

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