GB/T 32277-2015
硅的儀器中子活化分析測試方法

Instrumental neutron activation analysis test method for silicon

適用范圍: 1.1 本標準規定了硅材料的儀器中子活化分析測試方法。 1.2 ”本標準適用于化學氣相沉積法或冶金提純方法生產的硅材料的儀器中子活化分析。分析樣品可以是單唱硅、多晶硅,而多晶硅的形態可以是粉末、顆粒、塊狀或硅片。 1.3 ”本標準適用于材料的宏觀成分分析。如按本測試方法進行額外的樣品制備,并在樣品抽取、傳送和制備過程中避免表面污染,也可實現樣品的表面或近表面區域分析。 1.4 本測試方法僅適用于附錄A中所列痕量元素的熱中子或超熱中子活化分析。 1.5 本測試方法不適用于非晶硅薄膜.多晶硅薄膜或微晶硅薄膜的分析。對于受到人為挫雜高濃度特殊元素的硅樣品,也不屬于本測試方法適用范圍,但在檢查過挫雜對安全,檢測限和最小等待時間tw的影響之后,該測試方法還是可能適用。 1.6 本測試方法用于分析大范圍的痕量元素(見附錄A)。通常,樣品的輻照時間應比”Si 的訓變壽命長,而且應等重照生成的”Si 充分地衰變之后才能實施分析。

術語	描述
環境本底 Ambient Background	探測器記錄的除樣品外的所有輻射源產生的輻射
能量分辨率 Energy Resolution	γ譜峰峰值處的峰寬，表示探測器區分不同能量的能力
全能峰探測效率 Full-Energy Peak Detection Efficiency	探測器探測到某一特定能量γ光子的概率，受幾何因素和距離影響