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KS D 2715-2006
單晶硅和多晶硅納米/微薄膜拉伸的試樣

Tensile specimen of single- and poly-crystal nano/micro thin film materials

作廢

標準號: KS D 2715-2006
發布: 2006年
發布單位: 韓國科技標準局
替代標準: KS D 2715-2006(2011)
當前最新: KS D 2715-2017

適用范圍: 該標準適用于使用半導體工藝制造的納米/微米厚度的單晶。

專題

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