ASTM E1438-06
用次級(jí)離子質(zhì)譜法(SIMS)測(cè)量深度摻雜分布界面寬度標(biāo)準(zhǔn)指南

Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS

被代替

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

ASTM E1438-06

發(fā)布

2006年

總頁(yè)數(shù)

2頁(yè)

發(fā)布單位

美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

ASTM E1438-11

當(dāng)前最新

ASTM E1438-11(2019)

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

ASTM E673

適用范圍

盡管希望通過使用標(biāo)準(zhǔn)樣品和本指南來(lái)測(cè)量任何未知樣品中的輪廓變形程度，但界面寬度（輪廓變形）的測(cè)量對(duì)于每個(gè)樣品成分來(lái)說可能是唯一的（1,2,3）。3指南，它描述了一種確定所選操作條件集特定界面的唯一寬度的方法。它的主要目的是提供一種檢查儀器性能是否正確或一致或兩者兼而有之的方法。根據(jù)本指南，定期分析同一樣品，然后測(cè)量界面寬度，將提供這些檢查。本指南中描述的程序適用于任何具有層間界面的分層樣品，其中指定元素存在于一層中而另一層中不存在。事實(shí)證明，對(duì)于特別是 SIMS (4, 5) 和一般表面分析 (6, 7)，只有嚴(yán)格的校準(zhǔn)方法才能確定準(zhǔn)確的界面寬度。此類程序極其耗時(shí)。因此，使用本指南中描述的程序獲得的界面寬度測(cè)量結(jié)果可能包含顯著的系統(tǒng)誤差 (8)。因此，界面寬度的這種測(cè)量可能與用其他方法進(jìn)行的類似測(cè)量無(wú)關(guān)。然而，這并不會(huì)削弱其作為檢查儀器性能是否正確或一致，或兩者兼而有之的用途。
1.1 本指南為 SIMS 分析人員提供了一種根據(jù)分層樣品分析獲得的 SIMS 濺射數(shù)據(jù)確定界面寬度的方法。本指南不適用于對(duì)具有薄標(biāo)記的樣品或沒有界面的樣品（例如離子注入樣品）進(jìn)行分析所獲得的數(shù)據(jù)。
1.2 本指南不描述優(yōu)化界面寬度或優(yōu)化深度分辨率的方法。本標(biāo)準(zhǔn)不描述旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。

專題

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