DIN 50451-4:2024-01
半導體技術材料測試 液體中微量元素的測定 第 4 部分：電感耦合等離子體質(zhì)譜法 (ICP-MS) 測定超純水中 34 種元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS) / Note: Date of issue 2023-11-24*Int...

被代替

標準號

DIN 50451-4:2024-01

發(fā)布

2024年

發(fā)布單位

德國標準化學會

替代標準

DIN 50451-4:2024-09

當前最新

DIN 50451-4:2024-09

 

 

介紹

該標準詳細規(guī)定了使用電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP-MS）測定超純水中微量元素的技術方法。它涵蓋了34種元素的檢測，適用于半導體技術材料測試中的液體樣品分析。此標準為確保半導體行業(yè)使用的水達到極高的純凈度提供了重要的指導。

***此介紹可能不準確，請注意參考原文。

專題

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