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T/CNIA 0060-2020
多晶硅用氫氣中磷化氫含量的測定 氣相色譜法

Determination of phosphine content in hydrogen for polysilicon by gas chromatography


標準號
T/CNIA 0060-2020
發布
2020年
發布單位
中國團體標準
當前最新
T/CNIA 0060-2020
 
 
適用范圍
本標準規定了多晶硅用氫氣中磷化氫含量的氣相色譜測定方法。 本標準適用于多晶硅用氫氣中磷化氫含量的測定,測定范圍為0.02×10-9~1×10-5(v/v)。

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