HORIZON 全反射X熒光光譜儀 應用于半導體材料領域

（XRF）儀器由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X 射線（一次射線），激勵被測樣品。樣品中的每一種元素會放射出的二次X射線，并且不同的元素所放出的二次射線具有特定的能量特性。探測系統測量這些放射出來的二次射線的能量及數量。然后，儀器軟件將控測系統所收集的信息轉換成樣品中的各種元素的種類及含量。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中的每一種元素。在實際應用中，有效的元素測量范圍為11號元素（鈉Na）到92號元素（鈾U）。

儀器簡介

TXRF(全反射X熒光)分析原理是基于X熒光能譜法，但與X射線能譜形成對比的是，傳統能譜采用原級X光束以45°角轟擊樣品，而TXRF采用毫弧度的臨界角(接近于零度角)入射。由于采用此種近于切線方向的入射角，原級X光束幾乎可以全部被反射，照射在樣品表面后，可以很大程度上避免樣品載體吸收光束和減小散射的發生，同時減小了載體的背景和噪聲，亦可減少樣品使用量。

HORIZON 配備了12位樣品臺自動測量，創新光學編碼器的步進電機，保證精確角度測量，采用高分辨、低背景的帕爾貼控溫硅漂移檢測器。廣泛應用在環境分析、制藥分析、法醫學、化學純度分析、油品分析、染料分析、半導體材料及核材料工業分析領域。

主要特點
■ 單內標校正，有效簡化了定量分析，無基體影響；
■ 對于任何基體的樣品可單獨進行校準和定量分析；
■ 多元素實時分析，可進行痕量和超痕量分析；
■ 不受樣品的類型和不同應用需求影響；
■ 獨特的液體或固體樣品的微量分析，分析所需樣品量小；
■ 優良的檢出限水平，元素分析范圍從鈉覆蓋到钚；
■ 出色的動態線性范圍；
■ 無需任何化學前處理，無記憶效應；
■ 非破壞性分析，運行成本低廉。

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注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。