薄膜電阻測試方法

本專題涉及薄膜電阻測試方法的標準有3條。

國際標準分類中，薄膜電阻測試方法涉及到半導體材料、建筑材料。

在中國標準分類中，薄膜電阻測試方法涉及到半金屬與半導體材料綜合。

國家質檢總局，關于薄膜電阻測試方法的標準

• GB/T 6616-2009 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測試方法 非接觸渦流法

韓國科技標準局，關于薄膜電阻測試方法的標準

• KS L 1619-2013(2018) 四探針陣列導電陶瓷薄膜電阻率測試方法
• KS L 1619-2023 四點探針陣列導電精細陶瓷薄膜電阻率測試方法

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