卓立漢光SPM300系列半導體參數分析儀 應用于實驗室檢驗領域

基于拉曼光譜法的半導體參數測試儀，具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件，可對數據進行擬合計算，直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。系統穩定，重復性好，可用于實驗室檢驗或者產線監測。

① 光路接口盒：

內置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；

② 光路轉向控制：

光路轉向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針臺等設備連用，可升級振鏡選項

③ 明視場相機：

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡：

正置科研級金相顯微鏡，標配落射式明暗場照明，其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺：

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺，1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合：

光纖共聚焦耦合為可選項，提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合：

標配CCD- 狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量

⑧ 光譜CCD：

背照式深耗盡型光譜CCD相機， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%

⑨ 320mm 光譜儀：

F/4.2高光通量影像校正光譜儀， 1*10-5 雜散光抑制比

SPM300系列半導體參數分析儀主要應用

SPM300系列半導體參數分析儀選型表

系統參數

SPM300系列半導體參數分析儀測試案例舉例

卓立漢光SPM300系列半導體參數分析儀 應用于實驗室檢驗領域由北京卓立漢光儀器有限公司為您提供，如您想了解更多關于卓立漢光SPM300系列半導體參數分析儀 應用于實驗室檢驗領域 報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。